静电悬浮控制系统

ISBN: 9787118025408

出版年: 2001-1

页数: 226

定价: 18.00元

内容简介

《静电悬浮控制系统》包括球电极三维静电力分析，球碗间隙纳米级计算，变间隙电容传感器设计，悬浮支承随动控制，并行容错分时分频支承控制，静电悬浮综合技术与机电关系等。