聚焦离子束微纳加工技术

ISBN: 9787563916900

出版社: 北工大

出版年: 2010-8

页数: 344

定价: 55.00元

内容简介

本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。