微系统技术
ISBN: 9787502546922
作者: [德]W·Menz/王春海
出版社: 化学工业出版社
出版年: 2003-9
页数: 468
定价: 38.0
装帧: 平装
译者: 王春海
内容简介
本书是德国WILEY-VCH出版社“Microsystem Technology”一书的中译本,讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为10章,前4章介绍微系统技术的基础知识、如微系统与微结构间的相互关系、单晶硅的生产、微系统技术的物理和化学基础等;5-10章为本书核心,详细介绍微系统技术的基本工艺方法,包括光刻技术、硅技术、LIGA技术(X射线电镀成型)、封装技术等。
本书可作为高校相关专业学生的等候课教材和课外读物,也适用于微系统技术的专业人员和对微系统技术感兴趣的人员阅读。